logo
Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
สินค้า
สินค้า
บ้าน > สินค้า > อลูมินาเซรามิค > ผลประกอบการของอุปกรณ์ประกอบความละเอียดและการตรวจสอบอุตสาหกรรม

ผลประกอบการของอุปกรณ์ประกอบความละเอียดและการตรวจสอบอุตสาหกรรม

รายละเอียดสินค้า

สถานที่กำเนิด: ผลิตในประเทศจีน, เจ้อเจียง, จินหัว

ชื่อแบรนด์: Dayoo

ได้รับการรับรอง: GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015

หมายเลขรุ่น: ขึ้นอยู่กับสินค้าจริง

เงื่อนไขการชําระเงินและการจัดส่ง

จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ: ตามที่ได้เจรจาและตกลงกันไว้

ราคา: As Negotiated and Agreed

รายละเอียดการบรรจุ: กล่อง, กล่องไม้

เวลาการส่งมอบ: ขึ้นอยู่กับสินค้าจริง

เงื่อนไขการชำระเงิน: โกง

สามารถในการผลิต: โรงงาน

หา ราคา ที่ ดี ที่สุด
เน้น:

ผลิตภัณฑ์อะลูมิเนีย

,

ผลิตภัณฑ์อะลูมิเนียชนิดสเปอร์

อุณหภูมิการทำงานสูงสุด:
1700 ° C
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ:
350 MPa
การสูญเสียอิเล็กทริก:
0.0002
วิธี:
lsostatic presure
ความอดทนมิติ:
± 0.001 มม.
ความสามารถในการแปรรูป:
ยาก
ความแข็งแรงทางกล:
สูง
ความต้านทานแรงดึง:
200 MPa
พิมพ์:
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินา
ขนาด:
ปรับแต่ง
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก:
9.8
พื้นผิวเสร็จสิ้น:
ขัดเงา
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน:
8.5 x 10^-6 /k
วัสดุ:
ผงอลูมินา 99.5%
วัสดุ:
ผงอลูมินา 95%
วัสดุ:
ผงอลูมินา≥95%
อุณหภูมิการทำงานสูงสุด:
1700 ° C
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ:
350 MPa
การสูญเสียอิเล็กทริก:
0.0002
วิธี:
lsostatic presure
ความอดทนมิติ:
± 0.001 มม.
ความสามารถในการแปรรูป:
ยาก
ความแข็งแรงทางกล:
สูง
ความต้านทานแรงดึง:
200 MPa
พิมพ์:
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินา
ขนาด:
ปรับแต่ง
ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก:
9.8
พื้นผิวเสร็จสิ้น:
ขัดเงา
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน:
8.5 x 10^-6 /k
วัสดุ:
ผงอลูมินา 99.5%
วัสดุ:
ผงอลูมินา 95%
วัสดุ:
ผงอลูมินา≥95%
ผลประกอบการของอุปกรณ์ประกอบความละเอียดและการตรวจสอบอุตสาหกรรม

ฐานเซรามิกอลูมินาประสิทธิภาพฉนวนสำหรับอุปกรณ์วัดความแม่นยำและการตรวจสอบทางอุตสาหกรรม

 

ฐานรองเซรามิกอลูมินาเหล่านี้ผลิตขึ้นจากวัสดุ Al₂O₃ ความบริสุทธิ์สูง 99.6% ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ออปติก และการวัดความแม่นยำ ด้วยความเรียบพิเศษ 0.01 มม./ม. และสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 7.2×10⁻⁶/°C ผลิตภัณฑ์จึงรักษาความเสถียรของมิติที่ยอดเยี่ยมในอุณหภูมิที่สูงมาก (-60°C~1500°C) และสภาพแวดล้อมสุญญากาศ (≤10⁻⁸Pa)

 

ขอบเขตการใช้งานหลัก

  • อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: แท่นวางเวเฟอร์ลิโทกราฟี, ฐานห้องรีแอคเตอร์เอตชิง

  • ออปติกความแม่นยำ: แพลตฟอร์มอ้างอิงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์, ตัวยึดกระจกกล้องโทรทรรศน์อวกาศ

  • เครื่องมือวิเคราะห์: แท่นวางตัวอย่างกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน, ตัวรองรับแหล่งกำเนิดไอออนของสเปกโตรมิเตอร์มวล

  • การตรวจสอบทางอุตสาหกรรม: ฐานเครื่อง CMM, จานหมุนเครื่องทดสอบความกลม

  • พลังงานใหม่: ตัวรองรับกองเซลล์เชื้อเพลิง, ตัวรองรับอุปกรณ์เคลือบเซลล์แสงอาทิตย์

 

เมทริกซ์ข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพ

ลักษณะเฉพาะ ข้อกำหนดทางเทคนิค คุณค่าในการใช้งาน
ความเสถียรทางความร้อน ΔL/L<0.001%/°C ขจัดข้อผิดพลาดจากการเลื่อนของความร้อน
ความเข้ากันได้กับสุญญากาศ อัตราการคายแก๊ส<10⁻¹¹Pa·m³/s รักษาภาวะสุญญากาศสูงพิเศษ
ความแข็งแรงเชิงกล ความแข็งแรงดัด>400MPa รองรับส่วนประกอบความแม่นยำโดยไม่เสียรูป
ประสิทธิภาพฉนวน ความต้านทานปริมาตร>10¹⁶Ω·cm ขจัดสัญญาณรบกวนจากการรั่วไหลของไฟฟ้า

 

ข้อกำหนดทางเทคนิค

พารามิเตอร์ ประเภทมาตรฐาน ประเภทความแม่นยำสูง
ความบริสุทธิ์ของวัสดุ 99.6% Al₂O₃ 99.9% Al₂O₃
ความเรียบ ≤0.02mm/m ≤0.005mm/m
ความหยาบของพื้นผิว Ra0.1μm Ra0.025μm
สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน 7.5×10⁻⁶/°C 7.2×10⁻⁶/°C
อัตราการรั่วไหลของสุญญากาศ <10⁻¹⁰mbar·L/s <10⁻¹¹mbar·L/s

 

กระบวนการผลิตความแม่นยำ

  1. การแปรรูปผง: ผงความบริสุทธิ์สูง 0.1μm พร้อมการแกรนูลแบบสเปรย์

  2. กระบวนการขึ้นรูป: การอัดแบบไอโซสแตติก (300MPa) ร่วมกับการตัดเฉือนแบบกรีนด้วย CNC

  3. เทคโนโลยีการเผาผนึก: การเผาผนึกแบบไล่ระดับที่ 1700°C ในบรรยากาศไฮโดรเจน

  4. การตัดเฉือนความแม่นยำ ✗ หลีกเลี่ยงการสัมผัสกับกรดไฮโดรฟลูออริก

    • การเจียร 5 แกน (±0.002mm)

    • การขัดด้วยแม่เหล็กหนืด (ความแม่นยำพื้นผิว λ/20@632.8nm)

  5. การแปรรูปในห้องคลีนรูม: การประกอบเสร็จสิ้นในห้องคลีนรูมระดับ 100

  6. การตรวจสอบเต็มรูปแบบ: อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ + CMM ตรวจสอบมิติครบถ้วน

 

แนวทางการติดตั้ง

  • ข้อกำหนดการติดตั้ง ✗ หลีกเลี่ยงการสัมผัสกับกรดไฮโดรฟลูออริก
    ✓ ใช้ประแจปอนด์ (ค่าแนะนำ 1.5±0.2N·m)
    ✓ ใช้เครื่องมือเฉพาะสำหรับห้องคลีนรูม
    ✓ แนะนำการปรับสมดุลความร้อนล่วงหน้า (ความชันอุณหภูมิ <2°C/min)ข้อจำกัดด้านสิ่งแวดล้อม

  • : ✗ หลีกเลี่ยงการสัมผัสกับกรดไฮโดรฟลูออริก
    ✗ หลีกเลี่ยงการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน >200°C/min
    ✗ ไม่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีออกซิเดชันต่อเนื่อง >1600°C
    การรับประกันบริการ

 

การสนับสนุนทางเทคนิค

  • : การวิเคราะห์ความเค้น FEA ฟรีการตอบสนองที่รวดเร็ว

  • : บริการเร่งด่วน 72 ชั่วโมงการจัดการการตรวจสอบย้อนกลับ

  • : บันทึกการผลิตครบถ้วน 10 ปีการสนับสนุนการรับรอง

  • : เอกสารรับรอง SEMI/FDA/ISO ที่จัดให้คำถามที่พบบ่อย

 

Q: จะมั่นใจได้อย่างไรว่าสมดุลทางความร้อนกับส่วนประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์?

A: มีการออกแบบการเปลี่ยนค่า CTE แบบไล่ระดับ (ปรับได้ 7.2-4.5×10⁻⁶/°C)
Q: ขนาดสูงสุดที่สามารถแปรรูปได้?

A: ขีดจำกัดทางเทคนิคปัจจุบัน 500×500×100 มม. (ต้องใช้เครื่องมือพิเศษ)
Q: รองรับการปรับแต่งแบบนำไฟฟ้าหรือไม่?

A: มีรุ่นป้องกันไฟฟ้าสถิตที่ปรับแต่งได้พร้อมความต้านทานพื้นผิว 10⁴-10¹⁰Ω
Q: รับประกันความสะอาดระดับเวเฟอร์ได้อย่างไร?

A: การฆ่าเชื้อขั้นสุดท้ายด้วย VHP (ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ระเหย)

 

 

ผลประกอบการของอุปกรณ์ประกอบความละเอียดและการตรวจสอบอุตสาหกรรม

 

 

ผลิตภัณฑ์คล้ายกัน

หา ราคา ที่ ดี ที่สุด

หา ราคา ที่ ดี ที่สุด