กล่องเซรามิกทนอุณหภูมิสูงสําหรับอุณหภูมิกระบวนการ 1200 องศาเซลเซียสในอุตสาหกรรม LED

กล่องเซรามิกทนอุณหภูมิสูงสําหรับอุณหภูมิกระบวนการ 1200 องศาเซลเซียสในอุตสาหกรรม LED

ผลิตภัณฑ์นี้ถูกพัฒนาโดยเฉพาะสําหรับกระบวนการผลิต LED โดยใช้สารซิลิคอนไนไตรได (Si3N4) ความบริสุทธิ์สูง 99.8% โดยใช้การปะทะก๊าซความดันอย่างแม่นยํามีความสะอาดสูงสุดความทนทานต่ออุณหภูมิสูง และความทนทานต่อการกัดกร่อน เพื่อตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์ MOCVD ที่เข้มงวด

การใช้งานในการผลิต LED

• อุปกรณ์ MOCVD: การกระจายแหล่ง MO และก๊าซ NH3 อย่างแม่นยํา

• การเจริญเติบโตทางกระดูกหลัง: การฉีดก๊าซแบบเรียบร้อยในห้องปฏิกิริยา

• การผลิตชิป: ระบบส่งก๊าซป้องกัน

• กระบวนการบรรจุ: โฟสฟอร์สเปรย์ atomization

• อุปกรณ์การทดสอบ: การควบคุมก๊าซตรวจสอบทางแสง

ข้อดีของอุตสาหกรรม LED

✓ ความสะอาดสูงสุด: เนื้อหาไอออนโลหะ < 1ppm
✓ ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่ออุณหภูมิกระบวนการ 1200 °C
✓ ปนเปื้อนก๊าซ 0: ไม่มีการปล่อยอนุภาค
✓ การควบคุมการไหลผ่านอย่างแม่นยํา: ความแม่นยําของการไหลผ่าน ± 1%
✓ อายุการใช้งานยาวนาน: ทนต่อวงจรความร้อน 5000+ ครั้ง

ปริมาตรเฉพาะ LED

กระบวนการผลิตที่สะอาด

1. การเตรียมวัสดุ:

   • นาโนปูน (D50≤0.3μm)

   • การบดลูกบอลที่ไม่มีฝุ่น (ห้องสะอาดชั้น 10)

2. การปรับปรุงและปะทะ:

   • การกด Isostatic (200MPa)

   • การซินเตอร์ ultra-clean (สภาพแวดล้อมชั้น 100)

3. หลังการแปรรูป:

   • การทําความสะอาดพลาสมา (การล้างพิษบนพื้นผิว)

   • การทําความสะอาดน้ํา DI ด้วยเสียงฉาย

4. การบรรจุ:

   • กล่องกระเป๋าสะสมระบายไฟฟ้า

   • ถุงสะอาดระดับ ISO Class 4

แนวทางการใช้

️ การติดตั้ง: ต้องใช้ห้องสะอาดชั้น 100
การควบคุมก๊าซ: ใช้ก๊าซความบริสุทธิ์สูง 99.999%
️ การจัดการอุณหภูมิ: อัตราการทําความร้อน ≤5°C/นาที
️ การบํารุงรักษา: การทดสอบการรั่วไหลของเฮลเลียมทุก 500 ชั่วโมง

บริการเฉพาะ

• การรับประกันต่ออายุ: 18 เดือน

• การทดสอบความสะอาด: การทดสอบการปล่อยอนุภาคอิสระ

• การตอบสนองอย่างรวดเร็ว: การสนับสนุนทางเทคนิค 12 ชั่วโมง

• การปรับปรุงกระบวนการ: การจําลองสนามการไหลของก๊าซ

FAQ

Q: วิธีการรับรองความบริสุทธิ์ของแหล่ง MO?
A: การป้องกันสามประการ
1 การปรับปรุง Si ของพื้นผิว
2 ประเภทที่สะอาด 100
3 การทําความสะอาดพลาสมาก่อนการติดตั้ง

ถาม: การจัดการกับการบดจมูก?
A: แนะนํา:
• การทําความสะอาดน้ําด้วยเสียงฉีด ultrasonic 200W + DI
• ไม่มีการทําความสะอาดแท่งกล
• บริการ ทําความสะอาด ที่ มีมืออาชีพ

ถาม: ความเหมาะสมกับชั้นกระดูกที่แตกต่างกัน?
A: ตัวเลือกที่สามารถปรับแต่งได้

• โครงสร้างเรียงหลายหลุม

• การออกแบบขนาดเจาะระดับค่อยๆ

• การจัดตั้งมุมพิเศษ

•